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塑料真空镀膜蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀.这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的.离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合.一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极,外壳作阳极,充入惰性气体(如氩)以产生辉光放电.从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离.正离子被基片台负电压加速打到基片表面.未电离的中性原子(约占蒸发料的95%)也沉积在基片或真空室壁表面.电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百~几千电子伏)和氩离子对基片的溅射清洗作用,使膜层附着强度大大提高.离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点,并有很好的绕射性,可为形状复杂的工件镀膜.

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